6/8英寸半自動(dòng)晶圓清洗設(shè)備
該設(shè)備配有多路化學(xué)液及水氣二流體、穩(wěn)定高精的對(duì)中單元和功能強(qiáng)大的化學(xué)柜，廣泛適用于大部分鍵合前或解鍵合后的晶圓清洗。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
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01支持液路回吸功能，可防止工藝過(guò)程中滴液，確保工藝質(zhì)量
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02支持Degas除泡功能，可有效去除化學(xué)液中的氣泡，提升清洗質(zhì)量
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032路化學(xué)液和1路水氣二流體，對(duì)塵埃微粒、有機(jī)物等污染物有極高的去除能力
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04可選配兆聲清洗方案，進(jìn)一步提升清洗效果
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05擁有高精度、操作便捷的對(duì)中系統(tǒng)
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06自動(dòng)補(bǔ)液泵，既簡(jiǎn)化了手動(dòng)換液流程，又避免了人為搬運(yùn)風(fēng)險(xiǎn)
設(shè)備展示
基本信息
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1. 適用產(chǎn)品：4/6/8 inch 晶圓清洗
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