8/12英寸全自動Overlay量測設(shè)備
該設(shè)備用于12 inch 鍵合晶圓，包括上料單元/傳輸單元/晶圓對準(zhǔn)單元和量測單元， 廣泛應(yīng)用于熔融/混合鍵合晶圓鍵合的結(jié)果量測。
設(shè)備優(yōu)勢
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01軟件全自動作業(yè)控制
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02內(nèi)環(huán)境達Class1等級
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03全自動設(shè)備，Loadport自動上下料，可實現(xiàn)自動化生產(chǎn)系統(tǒng)對接
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04光學(xué)鏡頭：5x/10x/20x可選
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05高速移動&對焦方案，提高量測效率
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設(shè)備展示
基本信息
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1. 適用產(chǎn)品：D2W/W2W鍵合精度量測
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