LED晶圓激光表切設(shè)備
該設(shè)備采用高性能紫外激光器,用來對(duì)硅晶圓及藍(lán)寶石晶圓片等進(jìn)行切割開槽。
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
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01無人值守全自動(dòng)加工,也可對(duì)殘片進(jìn)行全自動(dòng)加工
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02設(shè)備具備自動(dòng)涂膠和自動(dòng)清洗功能,保證切割后對(duì)產(chǎn)品無污染
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03設(shè)備具備正切和背切加工,可兼容不同工藝需求
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04設(shè)備采用多光點(diǎn)切割技術(shù),保證切割品質(zhì)與良率
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設(shè)備展示

基本信息
- 1. 適用產(chǎn)品:硅晶圓及藍(lán)寶石晶圓片切割開槽工藝
- 2. 激光器:定制紫外納秒激光器
- 3. 加工方式:全自動(dòng)
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